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混合真空干燥机的成熟技术使用
信息来源:本站 | 发布日期:
2019-04-08
| 浏览量:
关键词:混合真空干燥技术
混合真空干燥采用专利,环保,超洁净技术准确干燥硅晶片,III-V复合晶圆,玻璃基板,磁盘驱动器,光学镜头和许多其他产品。
准确干燥对于维持清洁过程至关重要,混合真空干燥机是两种成熟技术的混合体:真空干燥和异丙醇(IPA)干燥,干燥机在有效的闭环过程中利用了两者的特性。远程产生超洁净蒸汽,然后将其引入密封的干燥室,闭环系统允许新鲜的IPA蒸汽冲洗待干燥的表面,渗透表面区域并吸收水分。低压真空从密封室中吸取任何残留的水分并远离被干燥的产品。
在干燥循环结束时,用氩气或氮气回填腔室,以便从几乎惰性的气氛中除去清洁的干燥产品。
准确干燥对于维持清洁过程至关重要,混合真空干燥机是两种成熟技术的混合体:真空干燥和异丙醇(IPA)干燥,干燥机在有效的闭环过程中利用了两者的特性。远程产生超洁净蒸汽,然后将其引入密封的干燥室,闭环系统允许新鲜的IPA蒸汽冲洗待干燥的表面,渗透表面区域并吸收水分。低压真空从密封室中吸取任何残留的水分并远离被干燥的产品。
在干燥循环结束时,用氩气或氮气回填腔室,以便从几乎惰性的气氛中除去清洁的干燥产品。
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