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  正排量真空泵使用一种机制来重复地扩展腔体，允许气体从腔室流入，密封腔体并将其排放到大气中；动量传递真空泵，也称为分子真空泵，使用高速喷射的稠密流体或高速旋转叶片将气体分子从腔室中撞出；诱捕真空泵捕获固体或吸附状态的气体，这包括低温真空泵，吸气剂和离子真空泵。
  
  正排量真空泵对于低真空是^有效的。动量传输真空泵与一个或两个正排量真空泵配合使用是实现高真空的^常见配置。在这种配置中，正排量真空泵有两个目的。
  
  首先，在动量传递真空泵可用于获得高真空之前，它在被抽空的容器中获得粗真空，因为动量传递真空泵不能在大气压下开始真空泵送。
  
  其次，正排量真空泵通过将高位真空泵中的置换分子的积聚抽空到低真空来支撑动量传递真空泵。可以添加诱捕真空泵以达到超高真空，但是它们需要定期再生捕获空气分子或离子的表面。由于这种要求，它们在低真空和高真空中的可用操作时间可能短得令人无法接受，因此限制了它们在超高真空中的使用。
  
  真空泵的细节也不同，如制造公差，密封材料，压力，流量，进气或不允许油蒸汽，维修间隔，可靠性，灰尘耐受性，耐化学品性，耐液体性和振动性。